當(dāng)今微電子薄膜，光學(xué)薄膜，抗氧化薄膜，巨磁電阻薄膜，高溫超導(dǎo)薄膜等在工業(yè)生產(chǎn)和人類生活中的不斷應(yīng)用，在工業(yè)生產(chǎn)的薄膜，其厚度是一個(gè)非常重要的參數(shù)，直接關(guān)系到該薄膜材料能否正常工作。如大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)工藝中的各種薄膜，由于電路集成程度的不斷提高，薄膜厚度的任何微小變化，對(duì)集成電路的性能都會(huì)產(chǎn)生直接的影響。

客戶需求：測(cè)透明薄膜的厚度

量程：1-3mm

測(cè)量方案：采用ZM100板材測(cè)厚儀檢測(cè)：將薄膜套在標(biāo)準(zhǔn)軸上，通過測(cè)標(biāo)準(zhǔn)軸和套薄膜的標(biāo)準(zhǔn)軸的直徑，間接檢測(cè)薄膜的厚度。精度5um.。

板材測(cè)厚儀檢測(cè)方法如圖所示：

透明薄膜厚度測(cè)量控制儀采用激光三角測(cè)量技術(shù)進(jìn)行在線厚度測(cè)量，由計(jì)算機(jī)控制掃描機(jī)構(gòu)，得到厚度的實(shí)時(shí)測(cè)量值和厚度與測(cè)量點(diǎn)位置的分布關(guān)系曲線。采用該系統(tǒng)不但能提高電池極片，透明薄膜生產(chǎn)的自動(dòng)化程度，而且能大大提高產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性、減少原材料的消耗、減少手工測(cè)量造成的人為干擾因素和誤差。

板材測(cè)厚傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：

可用于物體尺寸的非接觸測(cè)量與控制，如零件高度、邊緣、直徑、線徑、寬度、間隙、內(nèi)徑、外徑等。有效降低了生產(chǎn)后的單件檢驗(yàn)成本，并能有效節(jié)省原物料的損耗，降低人員需求。

板材測(cè)厚傳感器主要特點(diǎn)：

高精度：最高線性度5um；

量程范圍廣：可測(cè)500mm外徑的物體（可根據(jù)實(shí)際情況定制更大外徑型號(hào)）；

支持多個(gè)板材測(cè)厚傳感器同步采集（確保工業(yè)在線高精度差動(dòng)測(cè)厚）；

可以對(duì)操作系統(tǒng)實(shí)施不同的參數(shù)設(shè)置，改變測(cè)量方式；

在PC上十分直觀的顯示出測(cè)量值，方便對(duì)測(cè)量過程實(shí)施監(jiān)控；

采用半導(dǎo)體激光器發(fā)射的激光（波長(zhǎng)660nm）作為探測(cè)信號(hào)，抗干擾能力強(qiáng)；

系統(tǒng)帶有額外的四條輸出信號(hào)，帶負(fù)載能力強(qiáng)。

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