清能德創(chuàng)最新推出的全功能型直驅(qū)伺服驅(qū)動CoolDrive D5，支持直線電機及DD馬達電機“位置誤差補償功能”，為客戶精密加工系統(tǒng)優(yōu)化提供了更精確的位置定位。特別是上位軟件不支持誤差補償功能時，CoolDrive D5能極大的提高系統(tǒng)的精度，方便客戶使用。

　　1 位置誤差補償

　　(1)功能介紹

　　位置誤差補償功能利用保存在CoolDrive D5(以下簡稱“CDD5”)內(nèi)的誤差補償表進行實時補償，能夠消除因光柵尺或編碼器測量誤差導(dǎo)致的可重復(fù)定位誤差;同時，CDD5支持多種行業(yè)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)的激光干涉儀誤差測量數(shù)據(jù)格式，并可實現(xiàn)誤差測量的驅(qū)動器自主規(guī)劃運行(圖1)。

圖 1 位置誤差補償功能使用前后比較

      (2)位置誤差補償功能特點

　　①支持試運行回原點功能

　　試運行回原點功能主要用于實現(xiàn)驅(qū)動器的自主尋原點。

　　誤差補償表的起始位置需要對應(yīng)光柵尺的一個固定位置。在使用增量編碼器時，固定位置一般為電機原點位置，因此需要找到該位置，才可進行誤差補償測量。使用本功能后，可不依賴上位機，僅需簡單操作，CDD5即可驅(qū)動電機完成回原點的動作(圖2)。

　?、谥С终`差補償測量功能

　　誤差補償測量功能可以實現(xiàn)用戶自定義起始位置、起始方向、運行速度、單次循環(huán)步長、步長距離、回退距離等等運動軌跡，滿足多種應(yīng)用需求(圖3)。

圖 2 回原點操作界面

圖 3 誤差補償測量功能界面

圖 4 TRL 格式源文件的導(dǎo)入界面

圖 5 導(dǎo)入源文件后的誤差補償數(shù)據(jù)

       ③支持誤差補償表導(dǎo)入

　　? 支持用戶自定義修改某一點的補償值，方便操作;

　　? 支持激光干涉儀生成的RTL格式源文件的一鍵導(dǎo)入(圖4)、一鍵寫入功能、一鍵保存等功能，減少操作步驟，提升調(diào)試效率，同時會根據(jù)源文件自動計算出正反向補償值及平均值，從而提供給用戶更多的補償方式(圖5)。

　　(3)補償位置細分、自定義補償點數(shù)

　　? 最小補償單位為1個inc;

　　? 支持自定義補償點數(shù)，最高可設(shè)置1000個補償點。

　　2 位置誤差補償功能應(yīng)用案例

　　(1)設(shè)備信息：

　　? 2臺ABZ編碼器分辨率為100nm的直線電機;

　　? 2臺CDD5伺服驅(qū)動。

　　(2)補償后效果：

　　? 定位精度為2.2um;

　　? 重復(fù)定位精度1.4um。

　　3 總結(jié)

　　具備位置誤差補償功能的CoolDrive D5能助力設(shè)備實現(xiàn)更加精準(zhǔn)的定位，滿足半導(dǎo)體、面板、新能源、電子制造等行業(yè)的高端應(yīng)用場景需求。