技術頻道

本文的目的在于優(yōu)化甲醛氣體傳感器。微型甲醛氣體傳感器設計是以石英玻璃當作基材,白金（Pt）被當作微型加熱器電阻來加熱感測層,并以氧化鎳（NiO）薄膜作為感測層。當環(huán)境內有甲醛氣體存在時,NiO薄膜層上導電度會增加,因而導致感測層電阻值降低。此微傳感器,膜厚為0.34μm,在300℃反應時間只需6秒,靈敏度可達13.5 kΩ/ppb,最低偵測限度可以量測到40 ppb。