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基于相位解調(diào)的光纖MEMS壓力傳感器

發(fā)布時(shí)間：2009/3/20 15:58:00

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【基于相位解調(diào)的光纖MEMS壓力傳感器】

資料介紹

提出了一種新的壓力傳感器,該傳感器基于Fabry-Perot腔干涉和相位解調(diào)理論測(cè)量壓力。設(shè)計(jì)用MEMS技術(shù)以及普通的光通訊接插件制作出工藝簡(jiǎn)單,分辨率高的光纖MEMS壓力傳感器。闡述了傳感器的工作原理,分析了硅膜的厚度對(duì)傳感器性能的影響以及FP腔的長(zhǎng)度對(duì)反射光信號(hào)的影響。

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