技術(shù)頻道

針對芯片制造后道工序的需求，擬開發(fā)基于精密圖像光學(xué)檢測的IC全自動分檢機(jī)以提高IC芯片的合格率和降低檢測時間，本項(xiàng)目設(shè)備的研制，對實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體生產(chǎn)專用設(shè)備的國產(chǎn)化，縮短與世界先進(jìn)水平的差距有著重要的意義，研制的IC全自動分檢機(jī)將會具有廣闊的市場前景和較大的社會效益。[