技術頻道

描述了一種應用于集成電路（IC）制造的超精密工件臺的運動控制．介紹了超精密工件臺主從控制原理，它結合了粗動臺和精動臺兩者的優(yōu)點以實現(xiàn)運動控制的大行程和高精度．給出了超精密工件臺機電系統(tǒng)基于閉環(huán)控制的動力學辨識方法．利用環(huán)路整形技術，研究了串聯(lián)PID控制器和魯棒控制器的自動綜合方法．仿真結果表明該超精密工件臺的定位精度可達到10nm．[著者文摘]