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光刻機(jī)運(yùn)動(dòng)控制與網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控技術(shù)研究

發(fā)布時(shí)間：2009/4/4 9:03:00

文件類(lèi)型：rar

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提供者：中國(guó)傳動(dòng)網(wǎng)

【光刻機(jī)運(yùn)動(dòng)控制與網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控技術(shù)研究】

資料介紹

光刻機(jī)是IC器件制造的關(guān)鍵設(shè)備之一，其工件臺(tái)的高速度和高定位精度是獲得高質(zhì)量光刻和高效率的重要條件．本文通過(guò)對(duì)光刻機(jī)工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)速度模式、運(yùn)動(dòng)軌跡和定位誤差補(bǔ)償以及現(xiàn)代運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)和網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控技術(shù)的研究

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