技術(shù)頻道

采用垂直掃描系統(tǒng)是離子注入機(jī)最常用的掃描方式之一,著重闡述了一種大行程垂直掃描系統(tǒng)的系統(tǒng)構(gòu)成、設(shè)計(jì)思路和實(shí)現(xiàn)方法。經(jīng)過(guò)實(shí)際使用證明,該系統(tǒng)提高了離子注入機(jī)機(jī)械掃描的可靠性和穩(wěn)定性。