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MEMS傳感器的優(yōu)化與動(dòng)態(tài)試驗(yàn)

發(fā)布時(shí)間:2009/4/9 11:34:00

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【MEMS傳感器的優(yōu)化與動(dòng)態(tài)試驗(yàn)】

資料介紹
為了實(shí)現(xiàn)液壓系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)測(cè)量,給液壓系統(tǒng)的設(shè)計(jì)以及故障診斷提供理論依據(jù),在已經(jīng)設(shè)計(jì)的新型MEMS流量傳感器的基礎(chǔ)上,對(duì)其結(jié)構(gòu)尺寸進(jìn)行了進(jìn)一步的優(yōu)化,并對(duì)MEMS芯體和優(yōu)化后的MEMS傳感器進(jìn)行靜態(tài)標(biāo)定。

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