技術(shù)頻道

為了實(shí)現(xiàn)液壓系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)測(cè)量，給液壓系統(tǒng)的設(shè)計(jì)以及故障診斷提供理論依據(jù)，在已經(jīng)設(shè)計(jì)的新型MEMS流量傳感器的基礎(chǔ)上，對(duì)其結(jié)構(gòu)尺寸進(jìn)行了進(jìn)一步的優(yōu)化，并對(duì)MEMS芯體和優(yōu)化后的MEMS傳感器進(jìn)行靜態(tài)標(biāo)定。