技術頻道

基于宏微結合的設計思想，提出一種組合式微夾持器結構．采用微直線電機機構實現(xiàn)毫米級的宏運動，采用雙晶片壓電懸梁機構實現(xiàn)微米級的微運動．介紹組合式微夾持器的組成原理并對壓電懸梁形變特性進行了有限元分析．在此基礎上，開發(fā)微夾持器宏微控制系統(tǒng)，實現(xiàn)了微位移閉環(huán)控制．測試實驗表明，該微夾持器具有結構緊湊、操作空間大、精度高的特點．[著者文摘]