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基于壓力傳感器封裝的波紋膜片的結(jié)構(gòu)研究

發(fā)布時間：2013/9/2 11:17:24

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【基于壓力傳感器封裝的波紋膜片的結(jié)構(gòu)研究】

資料介紹

針對隔離型壓力傳感器封裝的特點，介紹了波紋膜片的設(shè)計過程，并利用有限元分析方法對影響波紋膜片性能的主要因素—膜片厚度和波紋深度進行了分析研究，對波紋膜片的結(jié)構(gòu)進行優(yōu)化，改善了封裝有波紋膜片的壓力傳感器的線性度和靈敏度。

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