石英微機(jī)械慣性傳感器的加工技術(shù)
發(fā)布時(shí)間：2013/9/3 19:57:37
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【石英微機(jī)械慣性傳感器的加工技術(shù)】
本文討論了石英微機(jī)械陀螺的基本結(jié)構(gòu)和工作原理，敘述了用于石英加工的化學(xué)各向異性刻蝕機(jī)理，給出了石英音叉?zhèn)鞲衅鞯募庸し椒?，提供了我們研制的石英微機(jī)械陀螺的試驗(yàn)結(jié)果。
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