超低溫薄膜壓力傳感器的研制
發(fā)布時間：2013/9/4 11:29:19
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【超低溫薄膜壓力傳感器的研制】
本文對薄膜壓力傳感器的原理、結(jié)構(gòu)、工藝等進(jìn)行了分析，并介紹了應(yīng)用離子濺鍍、激光調(diào)阻等技術(shù)研制成的一種小型超低溫薄膜壓力傳感器。這種傳感器測量范圍寬、精度高、抗振動和抗腐蝕性強(qiáng)，能在-200℃～100℃溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定可靠工作。
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