熱處理溫度對氧化銦薄膜特性的影響
發(fā)布時間：2013/9/5 18:07:44
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【熱處理溫度對氧化銦薄膜特性的影響】
利用離子束濺射沉積的方式在Al2O3陶瓷基片表面制備了In2O3薄膜，并分別研究了熱處理溫度對薄膜相結構、電阻-溫度特性及氣敏特性的影響。結果表明：薄膜相結構受熱處理溫度影響顯著，熱處理溫度高于600℃時，薄膜相結構由無定形狀態(tài)變?yōu)榱⒎较酄顟B(tài)；隨著熱處理溫度的升高，薄膜電阻率顯著增大；薄膜對CO氣體具有良好的氣敏特性，熱處理溫度為600℃時，薄膜對CO氣體靈敏度達到最大值。
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