在現(xiàn)代檢測工藝中,隨著各類半導體元件制程的不斷提升,為在不損傷元件的前提下,精準檢測樣品內部的氣孔、裂紋、分層等缺陷,一種新型檢測方式應運而生 —— 超聲波掃描成像。
(該技術在掃描過程中不會對樣品造成損傷,可滿足陶瓷基板、IGBT、水冷散熱器、電器焊接件、碳纖維復合材料等產品的質控需求)
超聲顯微檢測流程
支持多種的掃描模式,分層的測量,高精度快速的成像不放過任何細節(jié)。
傳統(tǒng)絲桿傳動下客戶核心痛點
?、本确€(wěn)定性難以保障
傳統(tǒng)絲桿傳動存在固有間隙,且運行過程中易產生磨損問題,長期使用后精度偏移現(xiàn)象顯著,直接導致超聲波檢測數(shù)據(jù)準確性波動,無法為檢測判斷提供穩(wěn)定可靠的技術支撐。
⒉檢測速度存在明顯限制
絲桿傳動的機械特性決定其速度存在固有局限,難以突破傳統(tǒng)運行速率瓶頸,進而制約超聲波檢測的整體節(jié)奏,導致檢測效率提升困難,無法適配高節(jié)奏、大規(guī)模的檢測需求。
?、尘S護成本高且使用壽命有限
絲桿傳動運行時磨損問題突出,需投入時間與成本進行定期檢修、更換磨損部件;同時,長期機械磨損會加速設備整體老化,縮短設備使用壽命,最終增加設備換新的額外成本負擔。
應用案例
超聲波探傷設備通常由直線 XY 模組、Z 對焦模組、超聲波探測模組及控制器組成,可根據(jù)不同設備的類型與尺寸進行定制化設計。
超聲掃描設備硬件組成
◆ 運動控制部分
運動平臺:DGL系列直線模組,采用AJM系列有鐵芯直線電機,小體積大功率密度的設計。搭配32bit絕對值光柵尺反饋,滿足小體積高性能的設計需求。
驅控部分:可支持多種驅動適配,通過兩個協(xié)同工作并使用高速通信的驅動器,來同步兩個龍門運動軸。
◆ 上位機掃查軟件
定制化開發(fā),能利用 XY 軸的等效輸出結合超聲波探測頭描繪掃描圖像;通過 SDK 調用運動指令,可實現(xiàn) XY 軸換行軸與掃描軸的自定義設置、掃查各點位一鍵 GOTO 功能,以及 Z 模組根據(jù)液位實時變焦的動作,支持多種模式的掃描作業(yè)。
◆ 信號聯(lián)動
XY 軸編碼器的等效輸出信號會接入超聲波模塊作為成像源,以此實現(xiàn)無損成像。直線電機模組 “高速高加速” 的特點,能顯著提升成像描繪效率;而光柵尺 “直接反饋、無傳動磨損” 的優(yōu)勢,可大幅增強后續(xù)成像的穩(wěn)定性。
雅科貝思的優(yōu)勢
?、睒藴驶闹本€模組解決方案 —— DGL系列模組
●內置直線電機可選
●行程從100 mm到1,200 mm,定制可達100 m/重復定位精度可達土1um
●分辨率可選: 0.05um或0.1um
●高精度以及精準回零
●速度可至5m/s,加速度可達10 G甚至更高
⒉多元化編碼器可選
覆蓋增量式與絕對值兩大類型編碼器,可適配TTL、SINCOS、BISSC、ENDAT2.2等多種信號規(guī)格,滿足不同應用場景下的精度與信號需求。
⒊自主專利總線技術與豐富開發(fā)
搭載自主專利的 Central-l 總線技術,同時提供豐富的SDK與 IDE定制開發(fā)功能,支持 C++、C#等主流編程語言的API二次開發(fā)接口,降低客戶二次開發(fā)門檻,提升系統(tǒng)適配靈活性。