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該傳感器是一種非接觸式的電容式位移傳感器；兩個傳感器板形成一個平行板電容器，每個傳感器可用在兩個不用的測量范圍；納米分辨率；零磁滯。

電容式位移傳感器詳細信息

電容式位移傳感器應用領域：

壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調，天文望遠鏡鏡片微調，精密微位移測量等。

電容式位移傳感器主要特點：

量程20～1250μm；

分辨率<0.1nm；零磁滯；

線性最高0.02%；

頻帶可調：50～5000Hz；靈敏度可調；

真空兼容選項；