產(chǎn)品頻道

高精度電渦流傳感器SMT是一款專(zhuān)門(mén)為客戶(hù)定制的OEM產(chǎn)品，可測(cè)非導(dǎo)磁體和鐵磁材料，有1、

2或3通道可配電渦流探頭。擁有埃米級(jí)分辨率，符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)，尺

寸小巧，并可配13種電渦流探頭。同時(shí)材料、線(xiàn)性、分辨率、帶寬各種

性能可自行優(yōu)化。

目標(biāo)

1能夠精確地調(diào)整和保持半導(dǎo)體晶片在進(jìn)行物理氣相沉淀（PVD）室中整齊排列。

2避免在進(jìn)入沉淀室時(shí)，由于排列不整齊而造成晶片損壞。

3確保沉淀物統(tǒng)一地沉淀在晶片上。

高精度電渦流傳感器解決方案

在物理氣相沉淀系統(tǒng)中，晶片會(huì)被放入不同的沉淀室里，每一個(gè)沉淀室用來(lái)沉淀不同的物質(zhì)。傳感器被安裝在沉淀室的內(nèi)側(cè)（如圖所示）。每個(gè)傳感器測(cè)量載有晶片的傳送器在沉淀室中的位置。Kaman系統(tǒng)提供了模擬和數(shù)字兩種輸出信號(hào)，以防止超出系統(tǒng)可承受的范圍。

結(jié)果：提高了時(shí)間和精度。

高精度電渦流傳感器特點(diǎn)

1類(lèi)型：SMT-9700高精度電渦流傳感器

2非接觸性：應(yīng)用渦電流的技術(shù)，每一個(gè)傳感器均可以無(wú)接觸地測(cè)量到目標(biāo)體的位置。

3高分辨率：系統(tǒng)可識(shí)別

4重復(fù)性：Kaman傳感器可以提供高精度的性能，可以反復(fù)用于物理氣相沉淀。

5系統(tǒng)多功能性：測(cè)量系統(tǒng)可以廣泛用于測(cè)量的各個(gè)領(lǐng)域。