產(chǎn)品頻道

　　對比現(xiàn)有已商業(yè)化的線性驅(qū)動器，ACS的NanoPWM?驅(qū)動器有以下特點：

• 更高的工作電壓及工作電流

• 更小尺寸

• 更好價格

　　對于如450mm和300mm晶圓檢測設(shè)備，以及其它對高速，高加速，平滑速度和亞納米級靜止抖動有要求的應(yīng)用場合，這是優(yōu)異的驅(qū)動方案

　　應(yīng)用SPiiPlus控制器和NanoPWM?驅(qū)動器來驅(qū)動一臺XY平臺，可以實現(xiàn)速度大于1米/秒，靜止抖動小于±0.3納米，在100毫米每秒速度下跟隨誤差為±10nm

　　(紅色)對比線性驅(qū)動器(黃色)靜止抖動

　　MC4U控制模塊集成NanoPWMTM驅(qū)動器

• MC4UNT控制模塊

• MC4UDC控制模塊