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新松真空機(jī)械手SRBZ820C-SMSX/G
產(chǎn)品型號(hào)SRBZ820C-SMSX/G
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
公司名稱沈陽新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司
地 址遼寧省沈陽市渾南新區(qū)金輝街16號(hào)
企業(yè)信息
普通會(huì)員第20年
公司類型： 生產(chǎn)商
主運(yùn)營：工業(yè)機(jī)器人、物流與倉儲(chǔ)自動(dòng)化、大型自動(dòng)化生產(chǎn)線...
所在地區(qū)：沈陽市
注冊時(shí)間：2006-03-30
機(jī)械手采用耐高溫手指有隔熱設(shè)計(jì)，可用于放置高溫托盤，短時(shí)間耐高溫300℃以上。指部、腕部靈巧的設(shè)計(jì)理念降低了接觸面的表面粗糙度，加大熱阻。同時(shí)具有噪音小、振動(dòng)小、運(yùn)行平穩(wěn)、精度高等特點(diǎn)。具有更靈敏的碰撞保護(hù)功能，有效保護(hù)機(jī)械手和客戶晶圓。全新的軌跡規(guī)劃，提高運(yùn)動(dòng)節(jié)拍，提高了用戶產(chǎn)能。在半導(dǎo)體前道高端設(shè)備中廣泛應(yīng)用，推動(dòng)了國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)步，有效的支撐了國內(nèi)設(shè)備商的發(fā)展。
參數(shù)
| 結(jié)構(gòu)形式Mechanical Structure | 柱坐標(biāo)型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA | |
|---|---|---|
| 密封方式Seal way | 磁流體密封Ferro-Fluidic Sealing | |
| 自由度數(shù)DOF | 2 | |
| 負(fù)載Payload | 名稱name | 托盤Tray |
| 直徑diameter | Φ300mm | |
| 重量weight | 1.5kg | |
最大運(yùn)動(dòng)范圍 Moving Range | R軸（mm）R-Axis | 立柱中心至R軸最大伸展處被搬運(yùn)物體中心距離820 Distance from pillar center to the moving objects center of the biggest R-axis stretching is R820mm |
| θ軸（°）θ-Axis | 360 | |
全行程最小時(shí)間 Minimum running time | R軸（s）R-Axis | 2.5 |
| θ軸（s）θ-Axis | 3.5 | |
重復(fù)定位精度 Repeatability | θ軸（°）θ-Axis | ±0.01（3σ） |
| R軸（mm）R-Axis | ±0.1（3σ） | |
重量Weight | 機(jī)械手本體Main-body | 41kg |
| 控制器Controller | 15kg | |
| 耐真空度Base Pressure (Pa) | 10--5Pa | |
| 漏率leak rate | <1*10E-8Mbar*L/s | |
| 碰撞保護(hù)Collision Protect Function | 盤片和機(jī)械手無損傷Disc and robot without damage | |
| 隔熱設(shè)計(jì) | 指部隔熱塊 | |
| 承載溫度 | 300℃ | |
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