產(chǎn)品頻道

      單極性ZCS1100和雙極性ZNXsensor電容傳感器是一種非接觸式的傳感器。兩個傳感器的板形成一個平行板電容器，每個傳感器可用在兩個不同的測量范圍；具有納米級分辨率，且不受電磁感應導致的信號滯后影響（零磁滯）。

電容傳感器主要應用領(lǐng)域：壓電微位移、薄膜厚度檢測、振動臺，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測量等。

主要技術(shù)指標：

量程：20~1250um；

分辨率<0.1nm；零磁滯；

線性度最高0.02%；

頻帶可調(diào)范圍：50~5000Hz；

靈敏度可調(diào)；

真空兼容選項。

      ZCS1100是一個單一的通道，高性能線性位移測量系統(tǒng)，創(chuàng)新的電容位移測量技術(shù)，提供了納米測量能力，成本低，適合測量任何導電目標。

應用領(lǐng)域

      壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測量等。