電容式傳感器是將被測(cè)量（如尺寸、壓力等）的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的--種傳感器。

1．工作原理

由物理學(xué)可知，兩個(gè)平行金屬極板組成的電容器，如果不考慮其邊緣效應(yīng)，其電容為

C=(s/d

式中ε--兩個(gè)極板間介質(zhì)的介電常數(shù)；

s--兩個(gè)極板相對(duì)有效面積；

d--兩個(gè)極板間的距離

—真空的介電常數(shù)，

=8.854×10-12F/m；

ε—極板間介質(zhì)的相對(duì)介電系數(shù)，在空氣中，ε=1；

S—極板的遮蓋面積（m2）；

δ—兩平行極板間的距離（m)。

上式表明，當(dāng)被測(cè)量δ、S或ε發(fā)生變化時(shí)，會(huì)引起電容的變化。如果保持其中的兩個(gè)參數(shù)不變，而僅改變另一個(gè)參數(shù)，就可把該參數(shù)的變化變換為單一電容量的變化，再通過(guò)配套的測(cè)量電路，將電容的變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。根據(jù)電容器參數(shù)變化的特性，電容式傳感器可分為極距變化型、面積變化型和介質(zhì)變化型三種，其中極距變化型和面積變化型應(yīng)用較廣。

由上式可知，改變電容C的方法有三種，其一為改變介質(zhì)的介電常數(shù)ε；其二為改變形成電容的有效面積；其三為改變兩個(gè)極板間的距離。而得到電參數(shù)的輸出為電容值的增量ΔC，這就成了電容式傳感器。

2．類型

根據(jù)上述原理，在應(yīng)用中電容式傳感器可以有三種基本類型，即變極距（或稱變間隙）型、變面積型和變介電常數(shù)型。它們的電極形狀有平板形、圓柱形和球平面形三種。

a）極距d變化型

d0小，大。但d0過(guò)小，易引起擊穿或短路?？刹捎酶呓殡姵?shù)的材料（如云母等）作介質(zhì)。

一般C0=20~100pF，d0=25~200μm，

微位移測(cè)量

b）面積變化型

c）介質(zhì)變化型