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直線/直驅(qū)電機(jī)以高速高精度、高加速度、大推力、結(jié)構(gòu)緊湊簡單、響應(yīng)快等特點(diǎn)，在半導(dǎo)體制造業(yè)、電子制造業(yè)、生物醫(yī)學(xué)設(shè)備、機(jī)床等工業(yè)領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

平臺功能特點(diǎn)簡介：

1、驅(qū)控一體化驅(qū)動器內(nèi)置PLC邏輯控制、運(yùn)動控制的功能；

2、內(nèi)置驅(qū)控一體的高階誤差補(bǔ)償方式，消除熱變形、機(jī)加工、裝配等對目標(biāo)精度的影響；

3、通過內(nèi)置PLC程序驅(qū)動直驅(qū)電機(jī)做變速圓周運(yùn)動以及分度運(yùn)動，直線電機(jī)通過內(nèi)置電子凸輪運(yùn)動控制功能跟隨直驅(qū)電機(jī)做同步正弦運(yùn)動。