PiezoWalk?驅動器是十多年前為半導體產(chǎn)業(yè)開發(fā)的。就可靠性、位置分辨率和長期穩(wěn)定性而言，半導體產(chǎn)業(yè)是一個非常嚴苛的行業(yè)。2005年，PI的PiezoWalk?技術榮獲SEMI技術創(chuàng)新獎。通過不斷開發(fā)，此類驅動器目前衍生出了很多版本，可用于不同的應用領域。

　　·不同轉子長度導致不同行程

　　·分辨率達0.03納米

　　·不工作時自鎖，無熱量產(chǎn)生

　　·無磁性和真空兼容工作原理

　　·三種技術：NEXLINE?、NEXACT?和PICMAWalk

　　·從OEM電機到多軸定位系統(tǒng)的集成度

PiezoWalk? OEM驅動器緊湊強勁，左起分別為N-331、N-310、N-216

　　步進驅動器的特點

　　·PICMAWalk：具有高續(xù)航力的平穩(wěn)增量運動

　　·直接驅動原理

　　·PiezoWalk?驅動器可自鎖

　　·使用壽命和可靠性

　　·應用領域

　　·恒定速度和平穩(wěn)驅動

　　·開環(huán)1納米運動

PICMAWalk：具有高續(xù)航力的平穩(wěn)增量運動

　　在經(jīng)過超10 - 15千米的試運轉階段后，驅動器可實現(xiàn)特別穩(wěn)定的步長。恒定的步長是驅動器的高負載能力和續(xù)航力的衡量指標。

直接驅動原理

　　壓電陶瓷步進驅動器無需任何額外的機械耦合元件。壓電陶瓷驅動器直接作用于動輪上，無其他影響精度和可靠性的運動部件。對比必需使用連接器和減速齒輪的電機主軸系統(tǒng)，這是一個優(yōu)勢。

PiezoWalk?驅動器可自鎖

　　在壓電促動器上相對于動輪施加預載可確保驅動器在靜止狀態(tài)下和關機時自鎖，從而不消耗能量，不發(fā)熱，保持位置的機械穩(wěn)定性。低占空比的應用要求較高的時間和溫度穩(wěn)定性，能得益于這些特點。

使用壽命和可靠性

　　壓電陶瓷促動器的運動基于晶形效應，不會產(chǎn)生任何磨損。與其他壓電電動機原理不同，壓電陶瓷促動器與轉子的耦合不受滑動摩擦作用的影響;進給是通過促動器的物理夾緊和提升實現(xiàn)的。PICMAWalk驅動器已通過100千米的連續(xù)帶載運行證明了其耐久性(常壓條件下的標準測試環(huán)境)。

應用領域

　　PI壓電電動機原理上具有真空兼容性，可適用于強磁場下的操作，為此，驅動器也有多種特殊版本。壓電陶瓷步進驅動器還可用于有較強紫外線輻射的無塵室及其他環(huán)境中。

恒定速度和平穩(wěn)驅動

　　NEXLINE?驅動器在納米級步距模式下能達到最佳的恒定速度和平穩(wěn)驅動，但由于NEXLINE?驅動器的1納米開環(huán)運動，整步模式下可實現(xiàn)的最大速度更大。

開環(huán)1納米運動

　　NEXLINE?驅動器開環(huán)1納米運動的順序。

PICMAWalk：具有高續(xù)航力的平穩(wěn)增量運動

　　在經(jīng)過超10 - 15千米的試運轉階段后，驅動器可實現(xiàn)特別穩(wěn)定的步長。恒定的步長是驅動器的高負載能力和續(xù)航力的衡量指標。

三大技術實現(xiàn)更高靈活性

PiezoWalk?步進驅動器涵蓋各種不同的力和速度，這使得其能服務于多種應用

PICMAWalk

　　PICMAWalk驅動器可實現(xiàn)高達50牛的進給力和高達60牛的保持力。最大速度為15毫米/秒。PICMAWalk采用久經(jīng)考驗的PICMA?多層壓電陶瓷促動器，意味著壓電電壓低至120伏。PICMA?壓電陶瓷促動器還可確保較長的使用壽命和PICMAWalk技術杰出的穩(wěn)定性。

NEXLINE?

　　高負載步進驅動器將壓電陶瓷夾緊和切變促動器相結合來移動一根桿。在幾百牛的進給力下，此類驅動器具有極大的力和剛性。此類驅動器可以納米級的分辨率在幾微米的范圍內動態(tài)補償振蕩，設計實現(xiàn)高達800牛的定位和夾持力，且可在較低速度下工作。

NEXACT?

　　精密步進驅動器通過壓電陶瓷彎曲元件轉換步進動作。這類驅動器更緊湊，可實現(xiàn)更高速度，產(chǎn)生10至20牛的力。壓電陶瓷元件的恰當選擇可為各應用優(yōu)化步長、夾持力、速度和剛性。

　　PiezoWalk?直線電機的工作原理

　　作為主要零件，此類壓電陶瓷步進驅動器包含幾個壓電陶瓷促動器，其上施加預載抵住導向轉子。這些壓電陶瓷促動器運行時進行步進運動，將轉子往前推進。壓電陶瓷促動器可進行非常小的步進和進給運動，從而實現(xiàn)遠小于1納米的高運動分辨。