12月12日,我國首臺具有世界先進水平的大型國產(chǎn)MOCVD設備發(fā)運慶典在上海張江高新區(qū)核心園發(fā)運,實現(xiàn)了我國大型MOCVD設備國產(chǎn)化的戰(zhàn)略目標。
MOCVD是在氣相外延生長基礎上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長技術(shù)。作為LED芯片生產(chǎn)過程中最為關(guān)鍵的設備,MOCVD的核心技術(shù)長期被歐美企業(yè)所壟斷,嚴重制約了我國LED產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。
中晟光電設備(上海)有限公司于今年初1月18日成功實現(xiàn)了擁有自主創(chuàng)新知識產(chǎn)權(quán)的具有世界先進水平的大型國產(chǎn)MOCVD設備下線,僅用了10個月時間,又完成了工藝的開發(fā)和設備進一步的改進優(yōu)化,完成了設備產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)必備條件與設施的建立;在此基礎上又完成了4家客戶的多次實地考察,親臨操作設備和驗證各項工藝。
客戶對中晟MOVCD的評價是具有4個核心競爭力:
一是具有目前世界上最高的系統(tǒng)產(chǎn)能;
二是具有最低的外延生產(chǎn)成本;
三是具有良好的波長均勻性;
四是具有大規(guī)模外延生產(chǎn)所需的各項關(guān)鍵性能。尤為重要的是,這些核心差異競爭力都具有自主創(chuàng)新的知識產(chǎn)權(quán)