汽車工業(yè)是傳感器的一個重要應用領域。每臺汽車會有40到上百個傳感器，而汽車智慧化的發(fā)展趨勢也將促進汽車市場對傳感器的需求。其應用方向和市場需求包括車輛的防抱死系統(tǒng)(ABS)、電子車身穩(wěn)定程序(ESP)、電控懸掛(ECS)、電動手剎(EPB)、斜坡起動輔助(HAS)、胎壓監(jiān)控(EPMS)、引擎防抖、車輛傾角計量和車內(nèi)心跳檢測等等。其中電子車身穩(wěn)定程序ESP得到眾MEMS廠商的高度關注。由于其主動防滑功能要求更多的傳感器和先進的處理系統(tǒng)，因此將帶動汽車電子MEMS傳統(tǒng)應用市場的需求。

MEMS具有微型的特點，可以代替器官植入、微量檢測，主要的發(fā)展方向是血管內(nèi)手術和顱內(nèi)手術以及細胞手術。

MEMS傳感器在消費電子領域中主要應用于運動/墜落檢測、導航數(shù)據(jù)補償、游戲/人機界面、電源管理、GPS增強/盲區(qū)消除、速度/距離計數(shù)、其他體育和保健應用等等。這些MEMS技術都在很大程度上提高了用戶體驗，并帶來了全新的電子消費產(chǎn)品。其中加速度計是該市場中第一大應用產(chǎn)品。而近期陀螺儀增長迅速，已經(jīng)成為繼加速度計后的第二大應用產(chǎn)品。

MEMS麥克風最近幾年一直保持著很高的增長率。以智能手機、平板電腦和超級本為代表，消費電子市場的飛速發(fā)展極大地推動著MEMS麥克風產(chǎn)品的需求和發(fā)展。YoleDeveloppement的分析數(shù)據(jù)顯示：2010年～2016年，MEMS麥克風市場總體出貨量將保持23%的水平；據(jù)預測，MEMS麥克風出貨量2013年將達到10億顆，2016年將接近20億顆。從具體應用市場來看，在MEMS麥克風應用最為廣泛的手機終端市場中，2016年MEMS麥克風的出貨量將接近市場總量的一半。

除去以上三個領域，在工業(yè)領域中，MEMS也有很多的應用。小體積、低成本的MEMS傳感器越來越多地用在各種機械振動監(jiān)測上，它可以用來監(jiān)測馬達、軸承等的振動，從而實現(xiàn)預見性維護；利用MEMS加速度計實現(xiàn)的傾角儀也被廣泛用在各種工業(yè)測量設備上；還有遙控直升機的伺服系統(tǒng)、兩輪車的平衡系統(tǒng)、天線穩(wěn)定平臺等。