由沈陽新松機器人自動化股份有限公司承擔(dān)的“300mmIC生產(chǎn)線自動物料搬運系統(tǒng)研發(fā)與應(yīng)用”項目在沈陽通過了國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”實施管理辦公室組織的驗收，標志著國內(nèi)首套應(yīng)用于300mmIC生產(chǎn)線自動物料搬運系統(tǒng)研制成功。
該項目由新松公司聯(lián)合中科院沈陽自動化所、上海集成電路研發(fā)中心有限公司等研究院所和企業(yè)進行技術(shù)攻關(guān)，完成了物料控制系統(tǒng)軟件、潔凈天車、天井式搬運車、潔凈立庫等核心設(shè)備的開發(fā)，并完成了自動物料搬運系統(tǒng)的示范應(yīng)用，實現(xiàn)了潔凈物料傳輸系統(tǒng)裝備的國產(chǎn)化，項目合同期內(nèi)完成了自動物料搬運生產(chǎn)線5條，實現(xiàn)銷售收入1.44億元。
該系統(tǒng)的研制成功打破了國外集成電路裝備企業(yè)在國內(nèi)的壟斷地位，降低了晶圓制造企業(yè)生產(chǎn)成本，加速了我國裝備制造業(yè)的轉(zhuǎn)型升級。
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