近日，日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所的研究組與日本CHINO株式會(huì)社合作，成功研發(fā)出了能在1000攝氏度附近高溫區(qū)，準(zhǔn)確測(cè)定溫度的白金電阻溫度計(jì)。
以往，在半導(dǎo)體制造等需要對(duì)溫度進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)定的場(chǎng)合，都是采用以白金(鉑)絲為傳感器的白金電阻溫度計(jì)。然而，在1000攝氏度附近的高溫區(qū)，白金的電阻率并不穩(wěn)定，而且白金絲自身也會(huì)產(chǎn)生熱扭曲，所以很難實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。
為開(kāi)發(fā)在1000攝氏度高溫區(qū)也能具有穩(wěn)定電阻率的溫度傳感器，研究組對(duì)市場(chǎng)上銷售的白金電阻溫度計(jì)進(jìn)行分析研究后，對(duì)其傳感器進(jìn)行適當(dāng)?shù)臒崽幚?，再利用日本?guó)家標(biāo)準(zhǔn)的水三相點(diǎn)裝置和銀凝固點(diǎn)裝置反復(fù)進(jìn)行熱循環(huán)試驗(yàn)，分析不同溫度下的電阻值變化情況。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，經(jīng)過(guò)熱處理后，鉑溫度傳感器在1000攝氏度附近的電阻變化實(shí)現(xiàn)最小化，溫度計(jì)性能更加穩(wěn)定。此外，通過(guò)對(duì)鉑絲的結(jié)構(gòu)進(jìn)行調(diào)整優(yōu)化，使其熱扭曲程度得到減輕。
據(jù)悉，新開(kāi)發(fā)的溫度計(jì)在銀凝固點(diǎn)的961.78攝氏度，測(cè)量值變動(dòng)范圍為±0.001度(以前為0.01度);在水三相點(diǎn)的0.01攝氏度，測(cè)量值變動(dòng)也穩(wěn)定在±0.0005度以內(nèi)，達(dá)到世界最高水平。
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