華盛頓提出的限制將擴(kuò)大現(xiàn)有的向中國出售最先進(jìn)系統(tǒng)的暫停期限,以阻止中國成為世界芯片生產(chǎn)領(lǐng)導(dǎo)者的計劃。如果荷蘭同意,這將大大擴(kuò)大現(xiàn)在禁止進(jìn)入中國的芯片制造設(shè)備的范圍和類別,這可能對從中國芯片制造商造成嚴(yán)重打擊。
知情人士說,美國官員正在游說荷蘭同行,禁止 ASML 出售其一些較舊的深紫外光刻( deep ultraviolet lithography:DUV) 系統(tǒng)。這些機器比尖端技術(shù)落后一代,但仍然是制造汽車、電話、計算機甚至機器人所需的某些不太先進(jìn)的芯片的最常用方法。
在彭博發(fā)布初步報告后,ASML 的美國存托憑證將跌幅擴(kuò)大至 8.3%,這是自 2020 年 3 月以來的最大盤中跌幅。
知情人士表示,該問題是在美國商務(wù)部副部長Don Graves于 5 月下旬和 6 月初訪問荷蘭和比利時討論供應(yīng)鏈問題期間出現(xiàn)的。由于討論是私下進(jìn)行的,這些知情人士要求不具名。在那次訪問中,Graves 還參觀了ASML 在 Veldhoven 的總部,并會見了該公司的首席執(zhí)行官 Peter Wennink。
知情人士說,荷蘭尚未同意對 ASML 向中國芯片制造商出口的任何額外限制,這可能會損害該國與中國的貿(mào)易關(guān)系。由于無法從荷蘭獲得出口許可證,ASML 已經(jīng)無法將其最先進(jìn)的極紫外光刻系統(tǒng)(每臺成本約 1.6 億歐元(1.64 億美元))運往中國。
美國對 ASML 的推動正值美國總統(tǒng)喬·拜登單獨考慮放寬特朗普時代對來自中國的消費品征收的一些關(guān)稅之際。盡管在兩國關(guān)系緊張之際,中國可能會歡迎這樣的舉動,但拜登政府仍在繼續(xù)其前任限制中國獲得美國技術(shù)的努力。
美國商務(wù)部和荷蘭外交部拒絕置評。
“討論并不新鮮。沒有做出任何決定,我們不想猜測或評論謠言,”ASML 發(fā)言人說。
ASML 是世界上最大的光刻系統(tǒng)制造商,這些機器在半導(dǎo)體制造過程中執(zhí)行關(guān)鍵步驟。ASML 在此類設(shè)備市場上的主導(dǎo)地位意味著,進(jìn)一步切斷中國對其產(chǎn)品的獲取將破壞這個亞洲國家在關(guān)鍵電子元件生產(chǎn)方面更加自給自足的雄心。
“中國在全球芯片設(shè)備市場的份額微不足道,”總部位于亞洲的Hinrich Foundation研究員Alex Capri)說,他將芯片生產(chǎn)描述為中國擴(kuò)大半導(dǎo)體實力計劃的“瓶頸”。
老一代機器 DUV 的能力不如更先進(jìn)的 EUV 光刻設(shè)備,但在制造目前嚴(yán)重短缺的許多類型的芯片中仍然不可或缺。知情人士說,華盛頓的重點是禁止銷售最先進(jìn)的 DUV 技術(shù),即浸沒式光刻機。
其中一位知情人士說,美國官員還試圖向日本施加壓力,要求其停止向中國芯片制造商提供相同的技術(shù)。日本尼康公司在這方面與 ASML 競爭。
浸沒式光刻也稱為氟化氬浸沒,或簡稱 ArFi。根據(jù)中國方正證券的數(shù)據(jù),ASML 在 2021 年售出了 81 臺 ArFi 系統(tǒng),而尼康售出了 4 臺,這家荷蘭公司占據(jù)了 95% 的市場份額。
荷蘭首相馬克·呂特6 月表示,他反對重新考慮與中國的貿(mào)易關(guān)系,并呼吁歐盟制定自己的對華政策。中國是荷蘭僅次于德國和比利時的第三大貿(mào)易伙伴。
文寧克今年早些時候表示,ASML反對禁止向中國客戶銷售 DUV 光刻設(shè)備,因為它已經(jīng)是一項成熟的技術(shù)。根據(jù)彭博匯編的公司披露和數(shù)據(jù),由國內(nèi)或外國公司運營的中國的設(shè)施占 ASML 2021 年總收入的 14.7% 。
ASML 還指控該國政府支持的一家中國科技公司可能侵犯知識產(chǎn)權(quán)。
美國阻止芯片制造設(shè)備出口的努力始于特朗普政府。華盛頓向荷蘭政府施壓,要求其阻止EUV 光刻系統(tǒng)的銷售,這些系統(tǒng)是生產(chǎn)最復(fù)雜的半導(dǎo)體所必需的,并且 ASML 擁有壟斷地位。
出于國家安全考慮,包括應(yīng)用材料公司和林研究公司在內(nèi)的美國主要芯片設(shè)備制造商已經(jīng)被禁止向中過晶圓廠銷售某些先進(jìn)產(chǎn)品。潛在的 DUV 禁令可能會進(jìn)一步打擊中國晶圓廠。
“光刻設(shè)備是中國在半導(dǎo)體生產(chǎn)方面最難更換的設(shè)備,”臺灣經(jīng)濟(jì)研究所分析師 Johnson Wang 表示。“如果沒有國外的深紫外光刻設(shè)備,中國芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展可能會停滯不前?!?/p>