近年來(lái)，倍福不斷完善其測(cè)量產(chǎn)品系列，可以全方位滿足半導(dǎo)體行業(yè)的所有測(cè)量需求：從每秒測(cè)量一次到每秒測(cè)量數(shù)千次，從電壓和電流測(cè)量到振動(dòng)和力測(cè)量。IP20 組件用于讀取控制柜內(nèi)的傳感器數(shù)據(jù)。通過(guò)無(wú)縫集成到 EtherCAT I/O 系統(tǒng)中，基本系列中的高端測(cè)量組件甚至可以讀取標(biāo)準(zhǔn)型 EL 模擬量端子模塊無(wú)法讀取的過(guò)程關(guān)鍵測(cè)量通道數(shù)據(jù)。基本系列設(shè)計(jì)用于以高測(cè)量精度采集所有通道和模塊上的高動(dòng)態(tài)過(guò)程的信號(hào)，而經(jīng)濟(jì)型系列則設(shè)計(jì)用于動(dòng)態(tài)性較差的過(guò)程。集成的 24 V 傳感器電源和 24 V 電源觸點(diǎn)可以減少控制柜中的接線數(shù)量。在一般的控制柜條件下，經(jīng)濟(jì)型系列出色的 100 ppm 溫度穩(wěn)定性甚至超過(guò)基本系列。當(dāng)然，這兩款產(chǎn)品系列都能夠用于測(cè)量半導(dǎo)體行業(yè)中常見(jiàn)的信號(hào)形式，它們都支持成熟的 EtherCAT 功能，例如納秒范圍內(nèi)的分布式時(shí)鐘時(shí)間戳和總線診斷功能。
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