據新華社新媒體6月29日消息，中國電子科技集團有限公司旗下中電科電子裝備集團有限公司(以下簡稱“電科裝備”)已實現國產離子注入機28納米工藝制程全覆蓋，有力保障我國集成電路制造行業(yè)在成熟制程領域的產業(yè)安全。
消息稱，電科裝備連續(xù)突破光路、控制、軟件等關鍵模塊的核心技術，形成中束流、大束流、高能及第三代半導體等全系列離子注入機產品格局，實現了28納米工藝制程全覆蓋，切實保障國產芯片生產制造。
資料顯示，電科裝備成立于2013年，是在中國電子科技集團公司二所、四十五所、四十八所三個國家級研究所基礎上組建成立的二級成員單位，屬中國電子科技集團有限公司獨資公司。
電科裝備是國內最早從事離子注入設備研制及產業(yè)化的企業(yè)，形成了以離子注入機、平坦化裝備(CMP)等為代表的微電子工藝設備研究開發(fā)與生產制造體系，涵蓋材料加工、芯片制造、先進封裝和測試檢測等多個領域;通過了ISO9001、 GJB9001C、UL、CE、TüV、NRE等質量管理體系與國際認證。據悉，該公司百臺設備廣泛應用于國內各大集成電路先進產線，累計流片2000萬片，有力提升我國產業(yè)鏈供應鏈韌性和安全水平。
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