為了快速、可靠地測量微小組件和特征的表面輪廓，對運動和控制系統以及傳感器技術提出了高要求，從而確保最終產品滿足功能和質量要求。選擇要使用的傳感器技術取決于傳感器分辨率、測量范圍和數據采集速度等標準。

　　該運動解決方案的主要特點

　　·緊湊且經濟的設計

　　·高度可重復的運動路徑

　　·極小的測量光斑尺寸

　　·高傳感器帶寬和分辨率，可實現快速響應

　　·使用步進掃描算法實現更高的吞吐量

　　1、XY軸 - 傳感器快速步進和掃描運動

　　·無鐵芯線性電機，可實現高動態(tài)、精密且平穩(wěn)的運動，完成快速步進和掃描

　　·絕對編碼器，避免參考并確保操作安全?

　　·XY拖鏈電纜管理，可保持電纜完整性并延長使用壽命

　　2、Z軸 - 傳感器的精密垂直運動

　　·高精度滾珠絲杠線性平臺，配有步進電機和制動閘，運行可靠，定位簡單且極其穩(wěn)定?

　　·折疊式傳動系統和緊湊的設計，節(jié)省安裝空間?

　　·輕量化設計，可保持龍門動態(tài)性?

　　·價格經濟，交付時間短

　　3、Z軸 - 用于距離控制的傳感器聚焦

　　·音圈直接驅動電機，可實現無摩擦運行、高掃描頻率與快速步進和穩(wěn)定

　　·高分辨率線性編碼器，可實現準確的位置反饋

　　·可調節(jié)的重力補償，確保安全運行

　　4、測量表面深度 - 光學距離傳感器

　　·光斑尺寸最小可達2微米，可以測量微小特征，并實現極其精密的定位?

　　·工作距離范圍廣，允許選擇各種任務和測量范圍?

　　·分辨率高、速度快，可實現動態(tài)自動聚焦補償和高產出量?

　　5、先進的自動化控制

　　·EtherCAT運動控制和驅動模塊提供開放式網絡連接

　　·將傳感器輸出轉換為位置數據，通過模擬接口或數字接口實現快速輸出

　　·廣泛的運動控制器算法，在確保快速運動和穩(wěn)定的同時，完成平滑掃描?

　　對于基于激光的傳感器，還需要考慮焦點尺寸或測量場或視野面積以及聚焦能力。配置運動控制系統時，需要確保傳感器快速而精確地放置在感興趣的點或區(qū)域。要滿足此要求，需要能夠快速移動到位置且具有短穩(wěn)定時間，或者快速、均勻地掃描特定區(qū)域。