SEMI F47標(biāo)準(zhǔn)：

　　半導(dǎo)體制造設(shè)備的電壓暫降防護(hù)基準(zhǔn)

　　SEMI F47 Standard:

　　Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity

　　“2022年7月27日，臺(tái)灣媒體報(bào)道，臺(tái)灣某科學(xué)園區(qū)發(fā)生電力瞬間電壓下降情況，造成園區(qū)內(nèi)某半導(dǎo)體制造工廠(chǎng)受到影響。雖然事后涉事廠(chǎng)商出面澄清，該科學(xué)園區(qū)的電壓暫降事件沒(méi)有造成完全停電，生產(chǎn)也已逐步恢復(fù)。但有爆料稱(chēng)，該工廠(chǎng)5nm及4nm產(chǎn)線(xiàn)仍出現(xiàn)晶圓報(bào)廢的情況?！?/p>

　　在半導(dǎo)體行業(yè)，電力供應(yīng)的穩(wěn)定性對(duì)生產(chǎn)至關(guān)重要。尤其是在晶圓制造過(guò)程中，電壓暫降可能直接影響光刻機(jī)，化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)以及刻蝕工藝等晶圓生產(chǎn)設(shè)備，微小的電壓波動(dòng)都可能導(dǎo)致生產(chǎn)設(shè)備發(fā)生故障甚至停工，導(dǎo)致整批晶圓報(bào)廢，帶來(lái)數(shù)億美元的經(jīng)濟(jì)損失。為了解決這個(gè)問(wèn)題，1999年，國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)(SEMI)，制定了SEMI F47標(biāo)準(zhǔn)，以規(guī)范半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備對(duì)電壓暫降(Voltage Sag)的耐受能力。

　　SEMI F47標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，半導(dǎo)體制造設(shè)備必須在特定的電壓暫降情況下仍能保持正常運(yùn)行。例如，50Hz條件下，當(dāng)供電電壓降至標(biāo)稱(chēng)值的50%時(shí)，設(shè)備應(yīng)能維持至少0.2秒的運(yùn)行(10 cycles);電壓降至70%時(shí)，設(shè)備應(yīng)持續(xù)運(yùn)行0.5秒(25 cycles);電壓降至80%時(shí)，設(shè)備應(yīng)能夠支撐至少1秒(50 cycles)，具體如下圖表所示。這一標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施，極大地提高了半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備抵抗電網(wǎng)波動(dòng)的能力，確保了半導(dǎo)體制造工藝的連續(xù)性。

　　鳴志M5交流伺服：符合SEMI F47標(biāo)準(zhǔn)，確保半導(dǎo)體設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行

　　在半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中，交流伺服驅(qū)動(dòng)器與電機(jī)作為執(zhí)行系統(tǒng)的關(guān)鍵零部件，已得到廣泛應(yīng)用。針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)電壓暫降防護(hù)的嚴(yán)格要求，鳴志(MOONS')重磅推出了符合SEMI F47標(biāo)準(zhǔn)的M5交流伺服系統(tǒng)，通過(guò)創(chuàng)新設(shè)計(jì)與性能優(yōu)化，成為少數(shù)符合SEMI F47標(biāo)準(zhǔn)的國(guó)產(chǎn)伺服產(chǎn)品。M5交流伺服系統(tǒng)采用寬電壓輸入設(shè)計(jì)，并集成了電壓暫降補(bǔ)償技術(shù)，能夠有效抵抗電壓波動(dòng)，為半導(dǎo)體設(shè)備提供了高可靠性解決方案，助力實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)零中斷。

　　M5交流伺服系統(tǒng)的領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)：

　　一、符合SEMI F47-0706標(biāo)準(zhǔn)

　　M5系列交流伺服系統(tǒng)已通過(guò)SGS-CSTC標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)實(shí)驗(yàn)室( Laboratory of SGS-CSTC Standards Technical Services )權(quán)威測(cè)試，M5交流伺服均順利通過(guò)了SEMI F47-0706標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，滿(mǎn)足半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的要求，對(duì)于其他需要抵抗電壓暫降、滿(mǎn)足連續(xù)運(yùn)行的設(shè)備場(chǎng)合，如光伏、鋰電、3C電子、醫(yī)療等行業(yè)，滿(mǎn)足SEMI F47標(biāo)準(zhǔn)的M5交流伺服系統(tǒng)也將成為設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行的可靠方案。

　　二、 安全功能與快速響應(yīng)

　　STO(安全轉(zhuǎn)矩關(guān)閉)：硬件級(jí)保護(hù)機(jī)制可在電壓異常時(shí)瞬間切斷功率輸出，避免設(shè)備損壞，同時(shí)通過(guò)UL Solutions SIL3/PLe/Cat4功能安全認(rèn)證，符合IEC 61508等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。

　　3.5kHz高速響應(yīng)：基于26位高精度編碼器與先進(jìn)算法，速度環(huán)帶寬達(dá)行業(yè)領(lǐng)先水平，確保在電壓恢復(fù)后迅速重載運(yùn)行，減少生產(chǎn)停頓。

　　三、 寬電壓輸入與動(dòng)態(tài)擾動(dòng)補(bǔ)償機(jī)制

　　M5系列伺服驅(qū)動(dòng)器支持AC220V/400V寬電壓輸入，功率范圍為50W-7500W,可適應(yīng)不同區(qū)域和復(fù)雜電力環(huán)境，增強(qiáng)系統(tǒng)兼容性。并內(nèi)置動(dòng)態(tài)擾動(dòng)補(bǔ)償功能，可實(shí)時(shí)抑制因電壓波動(dòng)導(dǎo)致的電機(jī)換向誤差，確保在電壓暫降期間維持軌跡精度。

　　四、適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

　　尤其適用于光刻機(jī)、刻蝕設(shè)備、化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)設(shè)備等對(duì)電源穩(wěn)定性要求極高的半導(dǎo)體制造設(shè)備。