產(chǎn)品頻道

　　UHV絕對式光柵

　　特性

　　由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低

　　殘余氣體分析 (RGA) 經(jīng)驗證不會污染真空環(huán)境

　　120 °C烘焙溫度

　　非接觸開放式光學(xué)系統(tǒng)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零

　　無氣密孔

　　高精度直線光柵和圓光柵系列

　　真正意義的絕對位置測量

　　RESOLUTE光柵系列可與單碼道直線柵尺和圓光柵配用，實現(xiàn)絕對位置測量。該光柵在通電后無需任何移動便可立即獲取位置信息。

　　高速和高分辨率

　　RESOLUTE光柵結(jié)合了先進的光學(xué)系統(tǒng)與創(chuàng)新的位置確定算法，能夠以達到1 nm的精細分辨率和高達100 m/s (36,000 rpm) 的速度實現(xiàn)絕對位置測量。

　　優(yōu)異的測量性能

　　RESOLUTE光柵系統(tǒng)可測量絕對位置，其具有±40 nm的低電子細分誤差 (SDE) 和小于10 nm RMS的超低噪聲(抖動)，能夠?qū)崿F(xiàn)平穩(wěn)的速度控制性能和可靠的位置穩(wěn)定性。

　　柵尺選項

　　直線柵尺用于提供直線位置信息 — 通常是X軸、Y軸或Z軸。

　　圓光柵用于提供角度位置信息以及對旋轉(zhuǎn)元件進行運動控制。

　　圓弧柵尺可卷繞在圓柱體、軸或圓弧上，用于測量旋轉(zhuǎn)運動的圓弧。