質(zhì)量流量控制器是一種新型的流量測量和監(jiān)測儀器，也是一種無需溫度和壓力補(bǔ)償即可方便地監(jiān)測管道中不同氣體流動的儀器。其工作原理是將傳感器加熱橋測得的流量信號送至放大器進(jìn)行放大，將放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，將差分信號放大以控制調(diào)節(jié)閥，并對通過通道的流量進(jìn)行閉環(huán)控制。流量等于設(shè)定流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀表配備有穩(wěn)壓電源、數(shù)字電壓表、設(shè)定電位計、內(nèi)外開關(guān)和三位閥控開關(guān)。它可用于控制不同的清潔和干燥氣體，包括腐蝕性氣體和復(fù)雜氣體，但對于使用腐蝕性氣體或復(fù)雜氣體，需要正確選擇型號和密封材料。

　　質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter，縮寫為MFM)和質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller，縮寫為MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確地測量或控制。它在包括很多尖端科學(xué)和重大應(yīng)用技術(shù)在內(nèi)的諸多領(lǐng)域以及基礎(chǔ)工業(yè)領(lǐng)域起著非常重要的作用。例如半導(dǎo)體工業(yè)的外延、擴(kuò)散、氣相淀積、離子刻蝕等工藝。光纖工業(yè)中的光纖預(yù)制棒熔煉，石油化工的實驗研究和應(yīng)用，材料科學(xué)與技術(shù)的多方面研究和應(yīng)用，如納米材料的研究、薄膜材料表面技術(shù)等;環(huán)境保護(hù)的定量取樣，光譜、色譜分析的載氣控制;醫(yī)藥及生物工程;微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量等。

　　質(zhì)量流量計用于測量氣體的質(zhì)量流量，其測量值不需要進(jìn)行溫度和壓力修正。傳統(tǒng)的氣體測量通常采用浮子流量計作為檢測單元、用針形調(diào)節(jié)閥作為執(zhí)行單元。這種流量控制方法有其難以克服的缺陷。浮子流量計不僅測量精度較低，而且當(dāng)測量介質(zhì)的溫度、壓力發(fā)生波動時，測量偏差較大，且作為執(zhí)行單元的針閥，因為需要手動操作，不能精確地調(diào)節(jié)流量，與檢測單元構(gòu)成有效的閉環(huán)控制。而質(zhì)量流量計基本不受影響。對于一般的體積流量計，當(dāng)壓強(qiáng)相對于標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)變化0.1MPa時，在相同的流量指示下，其實際的質(zhì)量流量要變化一倍左右，而質(zhì)量流量計僅變化0.1%F.S.左右。另外，溫度因素對體積流量計的影響也要大于對質(zhì)量流量計的影響。

　　質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。其中，流量傳感器是質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器中的關(guān)鍵部件。

　　傳感器的技術(shù)性能包括∶對稱性、線性、重復(fù)性、靈敏度、溫度漂移等。材料和結(jié)構(gòu)決定了傳感器的性能，而工藝水平更加重要。例如，填料的使用，密封性等。同時，流量傳感器與分流器以及它與放大電路的匹配，都會對流量傳感器的應(yīng)用產(chǎn)生重要影響。

　　傳感器加熱電橋測得的流量信號被送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與之配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源、數(shù)字電壓表、設(shè)定電位器、內(nèi)外設(shè)轉(zhuǎn)換開關(guān)和三位閥控開關(guān)等。