晶圓制造擴產(chǎn)高峰期來臨, 直驅(qū)技術(shù)行業(yè)迎來新機遇
文:編輯部2020年第六期
導語:半導體芯片的研發(fā)和生產(chǎn)是支撐電子產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展的重要“基石”,近日,任正非發(fā)表在華為心聲社區(qū)上的一篇發(fā)言稿明確指出,當前中國芯片設(shè)計的能力已經(jīng)步入世界領(lǐng)先水平,但存在的問題主要是在制造設(shè)備環(huán)節(jié),其中包括基礎(chǔ)工業(yè)、材料研究等。直驅(qū)電機是一種將電能直接轉(zhuǎn)化成直線運動機械能的傳動裝置,不用任意中間變換結(jié)構(gòu),能夠達到亞μm級甚至納米級精度,且具有高動態(tài)響應、運行平穩(wěn)、小體積結(jié)構(gòu)等應用優(yōu)勢,因而越來越多地被用來做為高端光刻機、封裝檢測設(shè)備、自動切割機等裝備中的動力裝置。
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