1 真空泵與半導(dǎo)體行業(yè)

1.1 真空泵描述

真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空環(huán)境的裝置，根據(jù)真空等級(jí)所用的真空泵有所不同，不同真空泵所對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)性能也有所不同。

1.2半導(dǎo)體真空泵市場(chǎng)及應(yīng)用工藝

根據(jù)ISVT國際真空技術(shù)統(tǒng)計(jì)工作組的調(diào)查統(tǒng)計(jì)，2019年全球真空設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模約350億元，其中半導(dǎo)體用真空設(shè)備約135億元，占比約38%，是最大的應(yīng)用領(lǐng)域，此外光伏領(lǐng)域的真空泵需求正快速增長。

半導(dǎo)體真空泵一般被用于半導(dǎo)體制造的多個(gè)工藝環(huán)節(jié)（圖2），占整個(gè)工藝的50%以上，其中干式真空泵可適用于半導(dǎo)體元件制造的整個(gè)工藝。縱觀全球市場(chǎng)，半導(dǎo)體真空泵行業(yè)高度集中，市場(chǎng)份額被一些主要的大公司占據(jù)。

1.3半導(dǎo)體真空泵結(jié)構(gòu)干式真空泵結(jié)構(gòu)如圖3所示，由兩臺(tái)變頻器帶兩臺(tái)同步或異步電機(jī)構(gòu)成，功率一般為2.2~22KW，該結(jié)構(gòu)中BP(BoosterPump/增壓泵)和DP(DryPump/干泵)是串聯(lián)的，在真空狀態(tài)下打開泄放閥時(shí)，通過調(diào)節(jié)DP的速度來調(diào)節(jié)BP的負(fù)載量。

2 S100真空泵專用化方案

LS電氣自2014年開始進(jìn)行真空泵專用化變頻器產(chǎn)品開發(fā)，所涉及的真空泵設(shè)備已經(jīng)涵蓋到韓國，中國等各個(gè)國家各大半導(dǎo)體及面板制造廠家，用戶滿意度較高。

2.1LS電氣S100真空泵專用方案一

? 專用化背景

（1）實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體真空泵專用功能，多段防止失速、低速報(bào)警、限制時(shí)重啟、瞬間斷電重啟；

（2）通過具有競(jìng)爭(zhēng)力的S100專用化解決方案搶占市場(chǎng)；

（3）目前真空泵設(shè)備用戶對(duì)高負(fù)載、小體積真空泵需求強(qiáng)烈，需要升級(jí)LS產(chǎn)電的S100變頻器產(chǎn)品，以應(yīng)對(duì)市場(chǎng)新需求。

? 專用化內(nèi)容

（1）專用產(chǎn)品：    S100Finless 類型(2.2~4kW)，產(chǎn)品量產(chǎn)；

（2）專用化功能：多段防止失速、低速報(bào)警、堵轉(zhuǎn)重啟（異物去除）、低速過勵(lì)磁（同步電機(jī)）、KEB功能:扭矩模式運(yùn)行、停止?fàn)顟B(tài)DB運(yùn)行、輸出電壓下降改善。

? 性能提升

（1）改進(jìn)無傳感矢量算法；（2）改善電流檢測(cè)精度；

（3）改善KEB運(yùn)行性能；

（4）提升Power計(jì)算精度。

? 應(yīng)用案例

在韓國某客戶真空泵負(fù)載試驗(yàn)時(shí)，速度恢復(fù)性能改善。

2.2LS電氣S100真空泵專用方案二

? 專用化背景

某真空泵公司由于尺寸及價(jià)格等問題需要4/7.5kW（200/400V）Finless類型的變頻器產(chǎn)品，LS電氣在原有的S100 4kW的基礎(chǔ)上擴(kuò)充產(chǎn)品線到7.5kW。

? 專用化內(nèi)容

（1）專用產(chǎn)品：S100  Finless產(chǎn)品（容量：7.5kW-200/400V，1個(gè)框架，2種）；

（2）專用化功能：FinlessHeatsink（水冷式）和專用Body Cover開發(fā)。

在確保產(chǎn)品品質(zhì)的前提下縮短開發(fā)時(shí)間，維持S100IP66系列的PCBAss'y安裝結(jié)構(gòu)不變，開發(fā)了1種HeatSink散熱器和1種Body Cover。

LS電氣S100系列變頻器在國內(nèi)外的真空泵設(shè)備上得到了廣泛應(yīng)用，可使半導(dǎo)體用真空泵在不同的半導(dǎo)體工藝下穩(wěn)定、高效、節(jié)能、可靠運(yùn)行，并可向全球半導(dǎo)體真空泵客戶提供定制化的方案與服務(wù)。

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