目前國(guó)內(nèi)先進(jìn)的等離子體設(shè)備使用的射頻電源，其主要技術(shù)性能（如輸出功率、頻率，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)等）已和國(guó)外同類電源基本一致，但在自動(dòng)化程度上，體積上以及應(yīng)用領(lǐng)域方面還有一定的差距。因此，要跟上國(guó)際水平，還要開展以下一些工作。
1、現(xiàn)在國(guó)內(nèi)的射頻電源采用的都是電子管或電子管、晶體管混合電路，體積較天，在一些要考慮體積的地方，限制了它的應(yīng)用。因而需要采用新技術(shù)、新元器件，使射頻電源固態(tài)化，小型化。
2、阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)是正確使用好射頻電源的重要部件。在國(guó)外，阻抗自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)已產(chǎn)品化，除了部分濺射、淀積設(shè)備照舊使用外，其它等離子體設(shè)備，尤其是RIE都已配備上自動(dòng)的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，從而使設(shè)備更趨于完善。在國(guó)內(nèi)這方面還是手動(dòng)的，雖然在一般情況下可以滿足工藝要求，但操作時(shí)不能離人，稍不注意仍會(huì)匹配不好。用自動(dòng)取代手動(dòng)匹配也是當(dāng)務(wù)之急的工作。
3、開擴(kuò)射頻電源的應(yīng)用領(lǐng)域，研制多性能、多品種的射頻電源，如寬頻帶電源、微波電源等。為電源的發(fā)展開創(chuàng)新的道路。
4、為了較快地趕上國(guó)際水平，引進(jìn)國(guó)外的先進(jìn)技術(shù)，根據(jù)我國(guó)的實(shí)際情況，對(duì)電源進(jìn)行改造、更新是發(fā)展電源的最快途徑。
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