近日，南大光電發(fā)布投資者關(guān)系活動記錄表，透露旗下已有兩款 ArF 光刻膠進(jìn)入批量驗證階段。
南大光電表示，ArF光刻膠驗證階段主要分為PRS(光刻膠性能測試)、STR(小試)、MSTR(批量驗證)及Release(通過驗證)四個階段。公司已有兩款膠通過客戶驗證，多款膠正在驗證過程中。驗證中的ArF光刻膠因開始時間不一，驗證進(jìn)度也不同，其中有兩款膠進(jìn)入MSTR階段。
南大光電稱，當(dāng)前公司光刻膠事業(yè)部主要任務(wù)是盡快完成更多產(chǎn)品的驗證，加強(qiáng)市場拓展，爭取早日實(shí)現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn)，形成業(yè)績貢獻(xiàn)。公司用于生產(chǎn)ArF光刻膠的核心原材料，由公司自主研發(fā)，對于國內(nèi)具備供應(yīng)能力的原材料，通過外購解決。
同時，南大光電透露，公司去年發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券募集資金9億元，其中8000萬元用于實(shí)施“年產(chǎn)140噸高純磷烷、砷烷擴(kuò)產(chǎn)及砷烷技改項目”，計劃通過擴(kuò)建和技改，增加磷烷年產(chǎn)能70噸、砷烷年產(chǎn)能70噸。截至目前，項目已建成70噸砷烷產(chǎn)能和35噸磷烷產(chǎn)能，后續(xù)建設(shè)正在穩(wěn)步推進(jìn)中
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