晶圓制造行業(yè)，是所有工業(yè)制造中自動(dòng)化程度最高的產(chǎn)業(yè)，主要原因是晶圓制造工藝要求高精度、高潔凈度、高可靠性，人工參與不能滿足這些要求。

　　而晶圓搬運(yùn)是半導(dǎo)體制造裝置的前道工序中的一道重要工序，尤其需要高精度和高速度。

　　德克威爾IO模塊在晶圓搬運(yùn)設(shè)備的應(yīng)用中，滿足了現(xiàn)場(chǎng)如穩(wěn)定、精確、快速等重點(diǎn)需求，獲得了客戶的肯定!

　　01、行業(yè)解析

　　作為半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件，晶圓在半導(dǎo)體加工工序中需要在各個(gè)處理站之間快速、精確的傳送。

　　現(xiàn)代的科技技術(shù)已經(jīng)可以生產(chǎn)出納米級(jí)厚度的晶圓，如此昂貴、精密、易碎的晶圓在傳送過(guò)程中，如果依靠人工操作，很容易被損壞，且過(guò)程中會(huì)使晶圓表面受到污染。

　　所以，晶圓搬運(yùn)設(shè)備成為晶圓制造的核心設(shè)備之一，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量，體現(xiàn)著整個(gè)加工系統(tǒng)的自動(dòng)化程度和可靠性。

　　02、工藝說(shuō)明

　　晶圓搬運(yùn)設(shè)備是指通過(guò)機(jī)器自動(dòng)搬運(yùn)，將晶圓從工序A的晶圓盒子或容器中移動(dòng)到工序B的晶圓盒子或容器中。在這個(gè)過(guò)程中，晶圓儲(chǔ)片盒或容器中的晶圓被高速地、清潔地搬運(yùn)和處理。

　　硅晶圓在搬運(yùn)過(guò)程中為了防止污染，通常被納入搬運(yùn)容器里由機(jī)器人輔助實(shí)現(xiàn)從上料→加工→下料至片盒的一系列動(dòng)作。

　　03、德克威爾方案

　　在該項(xiàng)目中，德克威爾IO模塊配合光刻機(jī)進(jìn)行板級(jí)或晶圓級(jí)產(chǎn)品移載，主要以單機(jī)分布式安裝在移載機(jī)各工位，用于傳輸?shù)轿恍盘?hào)和驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)工位電磁閥，單條線主要使用我司FS一體式遠(yuǎn)程IO大約7臺(tái)。

　　其中，德克威爾FS系列數(shù)字量模塊的輸入和輸出點(diǎn)能夠完整地完成輸送線任務(wù)，提高了項(xiàng)目通訊穩(wěn)定性。

　　主站： 西門(mén)子1200系列;

　　適用工藝段： 晶圓搬運(yùn)設(shè)備;

　　項(xiàng)目I/O配置：德克威爾FS系列模塊數(shù)字量200點(diǎn);

　　04、FS系列一體式I/O

　　產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　1、總線協(xié)議豐富，支持主流工業(yè)總線協(xié)議EtherCAT、PROFINET、DeviceNET、CC-Link、CC-LinkIE Filed Basic等;

　　2、直插端子、快速安裝;

　　3、產(chǎn)品體積小，結(jié)構(gòu)緊湊;

　　4、通訊穩(wěn)定、數(shù)據(jù)不丟包;

　　5、廣泛用于物流行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、自動(dòng)化單機(jī)設(shè)備以及機(jī)器人工作站等;、