我國(guó)生產(chǎn)真空獲得設(shè)備從20世紀(jì)30年代開始起步，目前年產(chǎn)量已達(dá)12萬臺(tái)左右，產(chǎn)品品種和質(zhì)量基本能夠滿足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求。但中國(guó)入世后，面臨激烈的國(guó)際市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)，國(guó)內(nèi)真空獲得設(shè)備在質(zhì)量水平上與發(fā)達(dá)國(guó)家的差距亟待我們冷靜思考，研究對(duì)策。 　　真空獲得設(shè)備按品種可分為15大類，按抽氣能力可分為高/超高真空泵、中真空泵和粗/低真空泵。而真空獲得設(shè)備中最大面廣的是旋片泵、滑閥泵、羅茨泵和油擴(kuò)散泵。 　　旋片泵該泵是所有真空獲得設(shè)備中產(chǎn)量最大、應(yīng)用最普遍的真空泵，全國(guó)年產(chǎn)量約10萬臺(tái)。 　　我國(guó)旋片泵生產(chǎn)設(shè)計(jì)水平、加工制造以及性能都已趨向成熟。目前旋片泵中皮帶泵約有80%的產(chǎn)品，直聯(lián)泵約有50%的產(chǎn)品，質(zhì)量能夠達(dá)到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求，但仍存在以下問題： 　　2Pa時(shí)的抽速過低，抽氣效率達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)要求。按標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，當(dāng)旋片泵在入口壓力為2Pa時(shí)，表征泵抽氣能力的指標(biāo)——抽氣效率應(yīng)達(dá)到45%以上。而目前我國(guó)旋片泵的不合格產(chǎn)品中，80%的產(chǎn)品該項(xiàng)指標(biāo)較低。其原因，一方面是由于某些產(chǎn)品的入口直徑?jīng)]有執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)，造成通導(dǎo)不足;一方面是由于零部件加工和裝配問題，引起泵的返流、泄漏及管阻加大。一些企業(yè)由于缺少抽氣效率指標(biāo)的檢測(cè)條件，產(chǎn)品出廠沒有經(jīng)過檢測(cè)監(jiān)控把關(guān)，使該項(xiàng)指標(biāo)長(zhǎng)期得不到改善和解決。 　　噴油和漏油問題。近幾年國(guó)內(nèi)主要生產(chǎn)廠對(duì)旋片泵的噴油、漏油問題下了很大的力氣加以解決，成效顯著，但是仍有約20%的旋片泵噴油、漏油。 　　泵的噪聲不符合標(biāo)準(zhǔn)要求。旋片泵的噪聲主要來源于三方面：泵油對(duì)閥片的沖擊產(chǎn)生的噪聲;配用電機(jī)產(chǎn)生的噪聲;振動(dòng)、旋轉(zhuǎn)件產(chǎn)生的噪聲。一些企業(yè)采取了改進(jìn)閥片材料、嚴(yán)格控制油量、選擇低噪聲電機(jī)等手段，使噪聲降低。但目前旋片泵不合格產(chǎn)品中，仍有20%的產(chǎn)品噪聲不合格。 　　滑閥泵該泵加上一些附屬裝置后具有抽出水蒸氣和腐蝕性氣體的能力，其工作壓力范圍寬，經(jīng)久耐用，故障率低。近幾年該泵在我國(guó)發(fā)展較快，年產(chǎn)量約為3000臺(tái)。 　　我國(guó)滑閥泵質(zhì)量經(jīng)過多年的市場(chǎng)磨練，主要技術(shù)性能如極限壓力、抽速、抽氣效率等指標(biāo)已經(jīng)得到大大改善，特別是近幾年，為解決滑閥泵的噪聲、振動(dòng)等問題，生產(chǎn)企業(yè)與大專院校聯(lián)合，從理論到加工工藝都進(jìn)行了卓有成效的探索和努力。 　　滑閥泵的噪聲形成機(jī)理比較復(fù)雜，普遍認(rèn)為是多方共同作用的結(jié)果。如排氣噪聲、機(jī)構(gòu)振動(dòng)和激勵(lì)噪聲、電機(jī)與軸承噪聲以及泵油的沖擊噪聲等多種噪聲疊加的結(jié)果。鑒于此，一些減少泵振動(dòng)和噪聲的新技術(shù)，新結(jié)構(gòu)滑閥泵在國(guó)內(nèi)不斷有人研制。如改變閥片結(jié)構(gòu)和材料以減小排氣噪聲;采用三缸式滑閥泵，使滑閥泵運(yùn)行平穩(wěn)等。最近，一種新型產(chǎn)品HGL-150滑閥泵通過鑒定，該產(chǎn)品三個(gè)重要部位采用新型結(jié)構(gòu)，產(chǎn)品不但極限壓力低，而且噪聲比標(biāo)準(zhǔn)降低6分貝，且運(yùn)行平穩(wěn)，無需地腳螺栓。 　　我國(guó)在滑閥泵的外觀質(zhì)量上也進(jìn)行了不少探索，產(chǎn)品的外觀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)更加美觀，泵體的鑄件質(zhì)量提高，泵體表面不需打膩?zhàn)?，噴漆后可組裝，外觀向儀器儀表化發(fā)展。盡管如此，國(guó)產(chǎn)滑閥泵與國(guó)外產(chǎn)品相比仍然存在著以下較大差距：一是噪聲、振動(dòng)大。如H-150滑閥泵，國(guó)內(nèi)產(chǎn)品大多數(shù)要用地腳螺栓，否則由于振動(dòng)，泵爬行嚴(yán)重。我國(guó)產(chǎn)品與國(guó)外先進(jìn)國(guó)家的產(chǎn)品相比，噪聲普遍高出5分貝以上。二是噴油、漏油。多數(shù)滑閥泵啟動(dòng)時(shí)噴油嚴(yán)重，運(yùn)轉(zhuǎn)后漏油。三是停泵返油嚴(yán)重，造成啟動(dòng)困難，使電機(jī)過載。四是穩(wěn)定性、可靠性差。由于生產(chǎn)加工裝備落后，使生產(chǎn)效率低，零部件的互換性差，影響了產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性。 　　羅茨泵該泵極限壓力可達(dá)到5×10-2Pa，其特點(diǎn)為抽速大、抽氣時(shí)間短、無污染?，F(xiàn)全國(guó)年產(chǎn)量約為3000臺(tái)。 　　目前國(guó)產(chǎn)羅茨泵產(chǎn)品質(zhì)量相差比較懸殊，老的生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)品性能指標(biāo)一般能夠達(dá)到或超過標(biāo)準(zhǔn)要求。按現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)，國(guó)產(chǎn)羅茨泵仍有30%左右的產(chǎn)品不合格，如果與國(guó)際先進(jìn)水平相比，綜合性能差距更大。存在的問題是軸封漏油嚴(yán)重;振動(dòng)、噪聲大，有的產(chǎn)品動(dòng)平衡不好，也有的齒輪、軸承精度不夠;一些產(chǎn)品的零流量壓縮比以及最大允許奪差達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)要求;有的企業(yè)生產(chǎn)工藝裝備落后，不能保證零部件的加工精度和裝配精度。這些問題造成國(guó)產(chǎn)羅茨泵運(yùn)行不可靠，故障率高，有的泵運(yùn)轉(zhuǎn)幾個(gè)月就要維修，而德國(guó)L-H公司羅茨泵運(yùn)行數(shù)年可以不維修。 　　油擴(kuò)散泵該泵是目前國(guó)內(nèi)在高真空范圍內(nèi)應(yīng)用最普遍的泵。該泵的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、無機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件、壽命長(zhǎng)、不易損壞、在高真空范圍內(nèi)抽速大。我國(guó)油擴(kuò)散泵的年產(chǎn)量約2500臺(tái)。 　　目前國(guó)產(chǎn)油擴(kuò)散泵存在的主要問題是返油嚴(yán)重，使油擴(kuò)散泵的使用條件受到限制。還有的產(chǎn)品極限壓力指標(biāo)和臨界前級(jí)壓力達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)要求，使泵的整體性能降低。 　　除了以上提到的質(zhì)量問題外，共性的質(zhì)量問題還有產(chǎn)品的耐久性和可靠性較差。目前，99%以上的國(guó)產(chǎn)泵不進(jìn)行可靠性試驗(yàn)，生產(chǎn)企業(yè)對(duì)其產(chǎn)品的可靠性指標(biāo)根本不了解。此外，漏水、產(chǎn)品標(biāo)牌與實(shí)際情況不符、螺釘松動(dòng)、電機(jī)皮帶過緊或過松、旋片泵和滑閥泵的氣鎮(zhèn)裝置效果不明顯或失效等問題也比較普遍。 　　真空泵的性能質(zhì)量不僅僅取決于生產(chǎn)廠制造本身，大量的配套產(chǎn)品對(duì)真空泵的質(zhì)量起到了至關(guān)重要的作用，如軸承、齒輪、動(dòng)密封、靜密封、電機(jī)、真空泵油等等，因此真空泵制造廠選用優(yōu)質(zhì)的配套產(chǎn)品對(duì)提高產(chǎn)品質(zhì)量是十分有效的。