AIXTRON推出世界上容量最大的MOCVD反應器
AIXTRON SE最新推出世界上最大容量的MOCVD反應器——CRIUS II-L MOCVD反應器,將MOCVD反應器的容量、生產(chǎn)能力和LED生產(chǎn)成本都提升到新的高度,具有生產(chǎn)16x4英寸或69x2英寸晶圓的能力。
AIXTRON公司表示,新的MOCVD反應器是基于經(jīng)過市場驗證的CRIUS II平臺而開發(fā)的,可以保證高性能氮化鎵(GaN)LED生產(chǎn)過程的無縫遷移。
營銷副總裁Rainer Beccard表示,降低制造成本是LED產(chǎn)業(yè)的一個關鍵問題,尤其在固態(tài)照明產(chǎn)品中。與MOCVD相關的制造成本中,反應器的產(chǎn)能仍然是影響制造成本的關鍵因素。
據(jù)悉,CRIUS II-L經(jīng)過生產(chǎn)驗證,確認是目前世界上最大的MOCVD反應器。另外,CRIUS II-L反應器還針對2-8英寸晶圓的生產(chǎn)進行了優(yōu)化設計,將大大提高生產(chǎn)力。
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