克洛諾斯超精密氣浮“家族” 開啟半導(dǎo)體運(yùn)控新紀(jì)元

　　1 克洛諾斯三大創(chuàng)新矩陣

　　憑借17年的技術(shù)積淀，克洛諾斯作為國(guó)家級(jí)專精特新 “小巨人”企業(yè)，持續(xù)突破納米級(jí)精度天花板：實(shí)現(xiàn)了從氣 浮零部件到半導(dǎo)體運(yùn)控平臺(tái)的全場(chǎng)景覆蓋;國(guó)內(nèi)首家實(shí)現(xiàn)晶 圓級(jí)納米定位技術(shù)量產(chǎn);累計(jì)服務(wù)500+半導(dǎo)體/光學(xué)/面板/ LDI/自動(dòng)化客戶。克洛諾斯呈現(xiàn)的三大創(chuàng)新矩陣包括：

　　· 半導(dǎo)體前道量檢測(cè)方案：水星運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(±2nm位置 穩(wěn)定性)+ 天王星運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(40ms整定時(shí)間)+ 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) (25nm跳動(dòng)誤差)+ 氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(±35nm精度、±5nm Jitter值);

　　· 先進(jìn)封裝解決方案：木星運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(±200nm貼片精 度)+ 天王星運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(40ms整定時(shí)間);

　　· 精密加工創(chuàng)新組合：氣浮電主軸(25nm精度)+ 小藍(lán) 動(dòng)力導(dǎo)軌(±5μm進(jìn)度)。

　　2 技術(shù)領(lǐng)航，定義行業(yè)新標(biāo)準(zhǔn)

　　(1)木星超精密運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)

　　顛覆傳統(tǒng)封裝工藝：2m/s疾速響應(yīng)配合±200nm定位 精度。

　　木星運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，結(jié)合先進(jìn)的運(yùn)動(dòng)控制器和運(yùn)動(dòng)算法，提 供多個(gè)特色控制功能：例如零穩(wěn)定時(shí)間、非線性控制、先進(jìn) 的前饋和軌跡過濾器、納秒級(jí)抖動(dòng)控制的全部軸完全同步、 特有的同步軸控制算法、多維度mapping、基于實(shí)時(shí)map 位的先進(jìn)觸發(fā)能力、先進(jìn)的控制優(yōu)化軟件診斷工具和系統(tǒng)頻譜分析工具，適用于先進(jìn)固晶制程(倒晶封裝、扇出、混合 鍵合、2.5D/3D封裝)以及Mini LED固晶、點(diǎn)膠等領(lǐng)域。

　　(2)水星超精密運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)

　　前道量檢測(cè)新標(biāo)桿：±2nm穩(wěn)定性+1.25m/s動(dòng)態(tài)性能。

　　水星運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)，總行程達(dá)475*410mm，可滿足12 寸及以下的晶圓量檢測(cè)使用。水星擁有極佳的動(dòng)態(tài)性能，加 速度達(dá)20m/s2,同時(shí)最高速度達(dá)到1.25m/s，定位精度高達(dá) ±1μm并擁有優(yōu)異的雙向重復(fù)精度，可滿足晶圓量檢測(cè)設(shè)備 的短行程短穩(wěn)定需求。

　　水星運(yùn)控平臺(tái)卡盤面帶真空接口，還可選配導(dǎo)軌粉塵抽 吸功能、個(gè)性化信號(hào)以及壓縮空氣管等，可滿足ISO2潔凈等 級(jí)環(huán)境需求。為了進(jìn)一步提升晶圓量檢測(cè)UPH，克洛諾斯還 可為水星加裝靜音系列主動(dòng)避震，在特定頻率及工況下隔振 效果能達(dá)到95%以上，每移動(dòng)10μm整定窗口±40nm時(shí)整定 時(shí)間就可控制在40ms內(nèi)，并且位置穩(wěn)定性在2KHZ時(shí)能達(dá)到 ±2nm，這意味著水星能極大程度上降低工作時(shí)間，有效提 升設(shè)備的UPH值。

　　(3)氣浮電主軸

　　精密加工里程碑：20000rpm水冷直驅(qū)+<100nm徑向 誤差。

　　該系列獨(dú)特的密封(迷宮式)確保主軸在不清潔的環(huán)境 中使用而不易損壞。其中，CABS-20000和CABS-12000主 軸適用于高速加工和精度要求很高的加工。CABS-5000主軸 是為晶圓研磨和拋光設(shè)計(jì)開發(fā)的，主軸的徑向和軸向誤差運(yùn)動(dòng)小于200nm，適用于各種高精度加工設(shè)備。