突破“不可能三角”——飛馬座運(yùn)動平臺

　　1 飛馬座運(yùn)動平臺核心特點(diǎn)：三位一體，重 塑生產(chǎn)力

　　雅科貝思飛馬座運(yùn)動平臺PGS-XYT系列，以系統(tǒng)層面的 正向設(shè)計(jì)，從材料、結(jié)構(gòu)、熱管理和運(yùn)動控制等多個維度出 發(fā)，徹底打破半導(dǎo)體行業(yè)困局。它不僅實(shí)現(xiàn)了毫秒級整定、 亞微米級精度，更將靜態(tài)抖動控制在納米級別，為半導(dǎo)體制 造帶來了革命性的突破。

　　(1)突破性產(chǎn)率：毫秒級響應(yīng)，賦能高效制造

　　飛馬座運(yùn)動平臺采用先進(jìn)的直驅(qū)技術(shù)，結(jié)合輕量化高剛 度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、主動減震系統(tǒng)以及智能運(yùn)動控制算法，將平臺 整定時間縮短至10ms以內(nèi)。這意味著更快的運(yùn)動速度、更 短的生產(chǎn)周期，從而大幅提升平臺產(chǎn)率，助力企業(yè)在激烈的 市場競爭中贏得先機(jī)。

　　(2)納米級抖動：精益求精，鑄就卓越品質(zhì)

　　在精密制造領(lǐng)域，納米級抖動是衡量平臺性能的關(guān)鍵指 標(biāo)。飛馬座運(yùn)動平臺搭載高信噪比控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了3nm靜 態(tài)抖動的卓越表現(xiàn)。這為半導(dǎo)體檢測、量測等對精度要求極 高的應(yīng)用場景提供了堅(jiān)實(shí)保障。

　　(3)卓越潔凈性能：高標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境，延長設(shè)備壽命

　　飛馬座運(yùn)動平臺充分發(fā)揮直驅(qū)技術(shù)在潔凈度和壽命上的 先天優(yōu)勢，并采用低發(fā)塵設(shè)計(jì)、內(nèi)置抽排系統(tǒng)和氣路污染隔 絕等創(chuàng)新技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了ISO2級別的超高潔凈度。這不僅能夠 有效降低污染離子的傳播，更顯著延長設(shè)備的使用壽命，為 企業(yè)創(chuàng)造更大價(jià)值。

　　2 技術(shù)優(yōu)勢：突破行業(yè)瓶頸

　　(1)震動管理：主動隔震，穩(wěn)如磐石

　　飛馬座運(yùn)動平臺采用先進(jìn)的直驅(qū)技術(shù)，結(jié)合輕量化高 剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、主動減震系統(tǒng)以及智能運(yùn)動控制算法，將平 臺整定時間縮短至10ms以內(nèi)，可滿足最大加速度2.5g的工 況。這意味著更快的運(yùn)動速度、更短的生產(chǎn)周期，從而大幅 提升平臺產(chǎn)率，助力企業(yè)在激烈的市場競爭中贏得先機(jī)。

　　(2)輕量化高剛度設(shè)計(jì)：精益求精，追求極致

　　利用先進(jìn)材料和拓?fù)鋬?yōu)化等手段，飛馬座運(yùn)動平臺實(shí)現(xiàn)

　　了輕量化高剛度結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。三片式一體化設(shè)計(jì)不僅能夠壓縮 空間尺寸，更能提高結(jié)構(gòu)剛度，從根源上減少抖動和串?dāng)_， 確保產(chǎn)率和精度的雙重提升。

　　3 應(yīng)用場景

　　飛馬座運(yùn)動平臺憑借其卓越的性能，廣泛適用于半導(dǎo)體 制造過程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括：

　　· 半導(dǎo)體檢測與量測：在晶圓檢測、缺陷分析、膜厚測 量等高精度量測應(yīng)用中，飛馬座平臺能夠提供穩(wěn)定的運(yùn)動控 制和納米級抖動抑制，保障測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。

　　· 套刻誤差檢測與校正：在多層芯片制造過程中，套刻 精度是影響芯片性能的關(guān)鍵因素。飛馬座平臺能夠輔助套刻 誤差的檢測與校正，提高芯片的良率。